抄録
メカトロニクス機器の高性能化に伴い，回転制御に使用されるロータリエンコーダには高精度化，高分解能化，高速応答化，小型化が要求されている．本研究は上記の要求を満たすため，光磁気記録を用いたロータリエンコーダを開発することを目的としている．現在までに，光磁気記録式エンコーダ（MOエンコーダ）を試作し，補正転写記録法を導入して9000pulses/rev.において約1.7"のMOエンコーダの記録·再生を実現している．本報では、MOエンコーダの高精度化の一環として，高次のランダム成分誤差の平均化を目的として試作したマルチスポットピックアップの評価について報告する。
