パラレルメカニズムを用いた高速·高精度3次元座標計測システム（第13報）

―フレーム変形の補正―

抄録

　本報では，表記測定機において，パラレルメカニズムを支持するフレームの熱変位や弾性変形などを補償するためのシステムについて報告する．このため，メカニズムとフレームの取付部3カ所の変位を定盤を基準として9台の変位計を用いてインプロセスで計測した．この測定値からベースプラットフォームの位置と姿勢はヘキサポッドの順運動学から計算でき，この位置と姿勢の変化量を用いて，測定値や目標座標値を補正する．以上のシステムを試作した三次元座標測定機などに応用し，補正した結果について報告する．