抄録
スクイーズ軸受は，軸受面が圧電素子により高周波振動し，回転軸と軸受面との間に圧力の高い空気膜（スクイーズ膜）を発生させることで，回転軸を非接触支持できる軸受である．前報では，不可聴域での駆動及び回転軸の残留振動の低減を考慮し，軸受面を超音波領域(20kHz以上)で振動できる軸受を試作した．軸受部分には，構造が簡単な薄肉円筒を採用し，特性評価実験を行った．本報では，運動誤差を実時間で補正するラジアルスクイーズ空気軸受の開発を目的とする．回転軸の運動誤差を測定し，圧電素子の印加電圧を制御する．これにより回転軸の運動誤差を実時間で補正できるシステムを構築する．
