抄録
筆者らは，超音波モータの真空環境に対する長所に着目し，超音波モータの原理を用いて真空を扱う機器（SEMやTEM）内に回転運動を導入するための回転導入器を開発している．これまでの実験では真空中の駆動特性測定やフルベーク処理による超高真空への到達が試みられ，真空中で30mNmのトルクと，2×10-8Paの到達圧力が得られている．しかし，摩擦材料に真空中の駆動性能を考慮して樹脂材料を用いたため，真空中での駆動時のアウトガスが大きな問題となっていた．本報では，駆動部の摩擦材にセラミックスを用いて，その真空中での駆動性能，アウトガスを調べ，真空中に最適に対応する摩擦材の検討を行っている．
