抄録
これまで、比較的安定で高い剛性を有する気体軸受の絞り形式として、絞り出口に浅いポケットを有する複合絞りを提案してきた。しかし、これまでの実験におけるポケット深さは、加工の困難から20μm程度であった。そのため、非常に浅いポケットを有する複合絞りの特性は解明されていなかった。そこで、本実験では、ポケット深さが20μm以下の軸受を試作し、すきま内圧力分布および負荷特性を測定した。その結果、ポケット深さを2－3μmに設定することにより、安定に作動し、またこれまでよりも高い剛性の軸受を実現できることが明らかになった。消費流量も1Nl/min程度に低くなった。
