薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作

抄録

　プラスチックに比べ，常温で高強度，高硬度であり，過冷却液体域で軟化する特性を有する薄膜金属ガラスで，微細中空構造を製作することにより，薄膜金属ガラスの新たなMEMSへの応用が図れると考えられる．そこで，半球状の微細中空構造を製作するため，数Paの圧力を有する不活性ガスを密閉した薄膜金属ガラス平面的構造を，過冷却液体域に加熱することで，構造内部のガス膨張と，薄膜金属ガラスの軟化を利用し，マイクロブロー成形により微細中空構造とする新しい加工法を提案，検討した．