SOGを用いて作製したダイヤモンドのマイクロ構造

抄録

ダイヤモンドは優れた性質を持ち、これをいかしたマイクロマシンの必要性があるため本研究室では、Spin On Glass(SOG)によりダイヤモンドの微細加工を行った。単結晶人工ダイヤモンド上にSOGを塗布し、電子ビームによって露光したあとバッファドフッ酸で現像する事によってSOGのレジストパターンを製作した。その後リアクティブイオンビームエッチング(RIBE)を行った。その結果ダイヤモンド上に構造物を形成することができた。この技術を応用して、ダイヤモンドのマイクロ部品を製作した。