レーザマイクロ割断に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集

2002年度精密工学会秋季大会

セッションID: H35

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002A.0.381.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用（3）

レーザマイクロ割断に関する研究

*池野順一, 中野康範, 中村知史

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抄録

レーザマイクロ割断を3次元に展開した研究成果について報告する

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© 2002 公益社団法人　精密工学会

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