抄録
原子間力顕微鏡による力曲線測定では引力勾配がカンチレバーのバネ定数を上回った場合に探針が試料に引き込まれる現象が生じる。これにより、連続した歪みのない力曲線を測定することは困難である。「力平衡法」を用いることでこれを解消しようと試みたが、従来の減衰の小さなカンチレバーを用いると制御系が全体として不安定になることがわかった。本研究では、制御対象となるカンチレバーの減衰係数を大きくすることで制御系の安定性を向上させることを目的としている。今回は探針·カンチレバー·ベース部を一体化したポリイミド製のカンチレバーを試作した。レーザービーム描画装置による直接描画とマスク露光を使い分けることで、設計変更に柔軟に対応できる製作プロセスを確立できた。
