テクスチャ化したすべり面の摩擦方向性を利用した微小物体の駆動

抄録

　著者らは，非対称V溝テクスチャによって生じる摩擦力の方向性について，その応用を検討している．これまで，この方向性を利用した物体の運動拘束（案内）を検討してきたが，本報では一方向加振よる微小物体の直線駆動を検討している．シリコンの異方性エッチングを用いて作成したテクスチャを樹脂に転写し，これとシリコン製スライダを組み合わせた場合に，強い摩擦力の方向性が得られた．駆動機構の力学モデルを検討すると共に，検証実験を行い，加振周波数や振幅による駆動速度の変化を調べた．