抄録
固体の濡れ性は，その固体表面が持つ化学的性質および幾何的な微細構造によって決定される．濡れ性を制御する手法として，本研究では微細加工技術を応用した表面微細構造の形成に着目し，微細構造の形状，寸法および配列パターンと濡れ性との関係を調査している．具体的には，電子線リソグラフィおよびRIEを用いて直径サブμmから100μm，高さ数10nmから数100nmの円柱を配列させたテクスチャをSi基板表面に形成し，そのテクスチャ表面の水に対する濡れ性の評価を行う．これによって，表面の微細構造が固体の濡れ性に与える影響を解明し，濡れ性を制御するための表面テクスチャの設計指針を示す．
