ZerodurのELID研削抵抗

抄録

Zerodurは各種ミラーの材料としてよく使用され，軽量化構造をもつ大型望遠鏡まで採用される。しかし，軽量化構造には，研削抵抗によるプロファイル変形は避けられない。本研究はZerodurのELID研削抵抗を調べたので，その結果を報告する。