複合粒子研磨法

－ポリマー粒子による砥粒レス研磨－

抄録

従来のポリシング加工で使用していた研磨パッドの代わりに、キャリア粒子と呼ばれるポリマー粒子を用いる新しい発想の「複合粒子研磨法」を開発した。複合粒子研磨法ではキャリア粒子が細かく分散した研磨パッドの役割を果たす。今回、さまざまなキャリア粒子（ポリマー粒子）使用して砥粒レス研磨を試み、加工特性について比較検討した。