抄録
CMP研磨パッドの表面形状は研磨レートなどの研磨特性に大きな影響を与える。表面形状の影響を見出すため、無発泡のプラスチック板上に、微細な円柱を均一に多数有するモデル的なパッドを作製した。円柱頂部の総面積を一定とした場合、直径の小さなパターンほどプレストン定数が大きくなるが、隣り合う円柱の中心間の距離を一定とした場合、直径の増加にともない、ある領域で最大値を持つことが分かった。また、これらの挙動がウエハとパッド間のスラリー膜厚と関係すると考え、スラリー膜厚を測定した。発表では「表面形状」、「プレストン定数」と「スラリー膜厚」の三者の関係について考察する。
