砥粒内包研磨パッドの開発

抄録

砥粒が遊離しやすい様に樹脂の網の中に砥粒が内包されている構造の砥粒内包研磨パッドを作成し、その研磨性能について評価を行なったところ、スクラッチがほとんど無く、研磨レートについても遊離砥粒研磨とほぼ同等となった。