新しいベルジャー型CMP装置（第2報）

ベルジャー内の雰囲気ガスとCMP特性

抄録

前回、加工雰囲気中のガスに着目し、実験を行った結果、パッドの回転数や加工圧力との関係において非常に興味深いデータを得る事ができた。今回は、また異なる視点から加工雰囲気中のガスとCMP特性との関係について検討していく。