精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: J26
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プラナリゼーションCMPとその応用(3)
紫外線励起によるマシニングの研究(第3報)
-蛍光剤の励起因子とCuの反応について-
*千巖 吉彦, 田中 武司
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抄録
 本研究はルミネッセンス現象をナノマシニングに応用しようとするものである.水に蛍光剤を溶かし,紫外線を照射すると,蛍光剤は励起し、蛍光を発する.銅を溶液中に浸し,紫外線を照射する.前加工でRaが5nm程度であった面が1nm程度に加工された.溶液は高分子イオンと塩素イオンから成っているので,どちらのイオンの作用が大きいかを解明する必要がある.そこで,シンプルな構造を持つ塩酸を用いて塩素イオンの作用を実験的に明らかにしょうとした.その結果、塩酸中の銅は腐食しないはずが,紫外線を照射すると著しく腐食することが分かった.蛍光剤による銅の平滑化は塩素イオンの作用よりも高分子イオンの作用が強いと思われる.
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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