精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: K18
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超精密物理化学加工(1)
プラズマCVMおよびEEMによる放射光用X線ミラーの作製とその応用
二枚の平面ミラーを用いたX線干渉計の開発
森 勇藏山内 和人*山村 和也三村 秀和佐野 泰久斎藤 彰Alexei Souvorov玉作 賢治矢橋 牧名石川 哲也
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抄録
これまで著者らはプラズマCVMおよびEEMにより放射光用X線ミラーを作製し、その応用を試みてている。ここでは、特に、作製した2枚のX線平面ミラーによる干渉計の開発について述べる。SPring-8において実験を行っており、高性能の干渉計を開発している。
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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