精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: K19
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主催: 社団法人精密工学会

超精密物理化学加工（1）
超清浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究
最適加工条件の探索
森 勇藏, 山内 和人, 三村 秀和, 稲垣 耕司, *久保田 章亀, 新林 洋介
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抄録
EEM(Elastic Emission Machining)は微粒子と加工物表面の反応を用いた加工法であり，サブナノメートルオーダで非常に平滑な表面の作製が可能である。EEMでは，加工条件によって，得られる表面形状が異なることがわかっている．そのため，加工条件の選定は非常に重要である．
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© 2002 公益社団法人　精密工学会
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