抄録
単結晶天然ダイヤモンド工具による非鉄軟質金属の超精密切削加工は，半導体部品や光通信部品などの加工に広く適用されている．このような超精密切削加工においては，工具刃先形状が高い精度で被削面に転写されるため，工具刃先の微細な摩耗が，製品不良の原因となり生産性を低下させる．したがって，ダイヤモンド工具の微細な摩耗をオンマシンで検知し，切削状況をインプロセスで監視することは有効な方法と考えられる．本研究では，工具摩耗をインプロセスで監視するためのパラメータとして切削抵抗に注目して，単結晶天然ダイヤモンドのRバイトによるアルミニウム合金の超精密正面切削加工を行い，工具摩耗との関係を調べたので報告する．
