抄録
単結晶ダイヤモンド工具による軟質金属の超精密切削加工は、光学部品などの精密加工に用いられている。このような超精密切削加工においては、形状精度や表面粗さばかりでなく、加工変質層といった表面性状も高品位な加工としての重要な評価項目になってきており、加工変質層がインプロセス、オンマシンで測定できれば、安定した高品位の加工が可能となる。しかしながら、加工変質層の計測は困難でオフラインでも容易でなく、インプロセス、オンマシンでの測定方法は得られていない。そこで、本研究では切削抵抗による加工変質層の監視の可能性を検討することを目的とし、切削条件、工具摩耗をパラメータとして、切削抵抗と加工変質層との関係を調べたので報告する。
