抄録
単結晶ダイヤモンド工具による軟質金属の超精密切削加工は、光学部品などの精密加工に用いられている。このような光学部品の超精密切削加工においては形状精度と表面粗さは製品の機能に大きく影響するため、重要な評価項目になっている。しかしながら、精密な表面粗さの測定はオフラインでも容易でなく、インプロセス、オンマシンでの測定方法は得られていない。そこで、本研究ではダイヤモンド工具系の振動解析による切削加工面の表面粗さの監視の可能性を検討することを目的とし、切削条件、工具摩耗をパラメータとして、ダイヤモンド工具系の振動と加工面の粗さとの関係を調べたので報告する。
