抄録
半導体製造装置のステッパに使用されるようなボールねじ軸は，最終仕上げ加工としてラップ仕上げが行われる．しかしながら，ボールねじの軸のラップ仕上げは熟練作業者により手作業で行われており，誰もが容易に高精度なボールねじを製造することができない．本研究では，加工と計測を同時に行なうトータルシステムを構築することにより，高精度なボールねじ軸を自動的に作成することを目的とする．そこでラップトルクを定量化し，ラップトルクの大きさや変動により，加工状況の把握や加工精度の推定を行なうことにより，効率良く自動的にラップ仕上げを行なうボールねじ軸自動ラップ盤を試作した．
