アルミ磁気ディスク基板の高速度高能率ポリシング

-アルミナ砥粒の場合-

抄録

半導体製品の高集積化，高密度化が進む中，磁気ディスク基板の超平滑化へのニーズは高まっている．本研究では，アルミ磁気ディスク基板をアルミナ砥粒でポリシングした場合における，ポリシング速度の影響を実験的に検討した．具体的には，仕上げ面粗さと除去速度の観点から行った．