研磨による大口径ウエハの形状修正（第2報）

ポリシャ形状の影響

抄録

プロセスウエハの大口径化に伴い，枚様式の研磨装置の必要性が高まっている．新たに開発した枚葉式揺動速度制御型研磨装置では，研磨シミュレーションプログラムを用いてウエハ初期形状に最適な研磨条件を算出し，300mmウエハ全面に高い平坦度を付与することが可能である．平坦度0.1µm以下を達成するには，工具であるポリシャの形状を厳密に測定し，ポリシャ形状とウエハ形状との関係について明らかにする必要がある．本報では，ポリシャ形状が研磨工程に及ぼす影響についてシミュレーションおよび実験により検討する．