油系スラリーを用いた複合粒子研磨法

工具レートに関する検討

抄録

研磨パッドの使用による諸問題に対して、パッドの代わりにポリマ微粒子を用いた「複合粒子研磨法」が提案された。現状では、油系分散媒を用いた複合粒子鏡面研磨の可能性はもう既に確認された。本論文では油系スラリーを用いた複合粒子研磨の加工特性に影響を及ぼす要因、特に工具プレートの特性について検討したため、その結果を報告する。