ロータリーエンコーダによるポリゴン鏡の校正

抄録

産業界は角度の基準の一つに多角柱状のポリゴン鏡を使っている。12面ポリゴン鏡であれば、2つの面のなす角は30度である。従来はこの角度を角度割り出し盤とオートコリメータで校正を行い、大変な労力と時間がかかっていた。現在、2つのロータリーエンコーダを用いてポリゴン鏡を校正する技術の開発を行っている。本発表ではこの原理と実験装置の概要を発表する。