ソフトウエアデータムによる円盤面形状測定に関する研究（第2報）

反転法による円盤上円周形状と軸の回転誤差の分離

抄録

前報において著者らは、ソフトウエアデータムを用いて円盤面上の円周状形状と軸のアンギュラモーションを分離する手法を提案した。これは被測定円盤を回転テーブルに載せ、これを回転させ、円盤の同一円周上に配置した3つの角度センサに入る形状データと軸の回転精度のデータを3点法により分離するというものである。本報では、反転法等を用いた円盤面形状測定法に付いて、その原理と基本特性を報告する。