抄録
ビデオテープの磁性体などの薄膜塗布に用いられる、スロットダイと呼ばれる工具がある。スロットダイには、幅数百um、長さ千数百mmの溝が彫ってあり、この溝の精度が塗布の精度を決める重要な要素になる。現在、溝幅の測定は隙間ゲージを用いて行われている。この方法は接触式測定法であるため、隙間ゲージが磨耗や、測定により溝面にごみが付着する問題がある。また、溝幅に合わせて隙間ゲージを選択しなければならないので、溝幅によっては測定ができないケースもある。これらの問題を解決する為には、非接触かつ様々な溝幅に対応できる測定法が必要である。本報では、非接触測定を用いて溝幅を求めるための基礎的な研究結果を報告する。
