抄録
本研究では,ボールプレートやレーザ干渉計などを用いた従来の座標測定機校正法に代わる方法として,自律校正法を用いた新たな座標測定器の校正法を提案する.この校正方法では,複数の測定点を持つ測定対象物の各点の座標を測定し,その後に測定対象物に一定距離のシフトを与えて2回目の測定を行う.この2組の測定結果から演算により線形誤差を取り除いた補正座標および校正曲線を求める.本報では実際にライン上で測定されるワーク自身を校正用ゲージとして利用することを意識し,測定点の配置を不等間隔にして自律校正演算を行った結果を報告する.また,不等間隔校正時の誤差を緩和する演算方法を提案し,適用した結果についても報告する.