薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ（第1報） 薄膜金属ガラスマイクロプローブとその特性

和田 晃一; 北爪 秀憲; 奈良崎 亘; 斉藤 忠男; 秦 誠一; 桜井 淳平; 下河辺 明

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.480.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: I21

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.480.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

MEMS商業化技術（2）

薄膜金属ガラスを用いた集積化マイクロプローブ（第1報）

薄膜金属ガラスマイクロプローブとその特性

*和田晃一, 北爪秀憲, 奈良崎亘, 斉藤忠男, 秦誠一, 桜井淳平, 下河辺明

著者情報

キーワード: プローブ, MEMS, 薄膜, 金属ガラス

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

　ICの高集積化，およびそのオンウエハ状態での動作試験への要求に対して，新材料である薄膜金属ガラスとMEMS技術を利用した微小プローブの開発をおこなっており，その現状を報告する．今回試作したプローブは，薄膜金属ガラスの微細成形を利用した立体形状を有し，長さ400μm等サブミリオーダーのサイズを有する．製作したプローブの対Al薄膜接触時のプローブ抵抗や，オーバドライブ時の接触力などの特性を報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）