ツイストローラ摩擦駆動機構を用いた超精密位置決めシステムに関する研究

志水 裕規; 水本 洋; 有井 士郎; 薮谷 誠

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.665.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: L34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.665.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

超精密加工機とその要素技術（2）

ツイストローラ摩擦駆動機構を用いた超精密位置決めシステムに関する研究

*志水裕規, 水本洋, 有井士郎, 薮谷誠

著者情報

キーワード: 摩擦駆動, 圧電素子, ACサーボモータ, 位置決め

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

ツイストローラ摩擦駆動機構は，微小なリードを持つ送りねじの一種と見なせ超精密位置決めに有利である．位置決め性能は駆動軸を回転させるアクチュエータの性能により決定するので，微動用に圧電素子そして粗動用にACサーボモータを併用した超精密位置決めシステムを構築し，位置決め分解能の向上と位置決め範囲の拡大を図った．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）