テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構を利用した超高真空対応試料導入位置決め機構の検討

袴田 恵世; 新野 俊樹

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.770.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: N22

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.770.0

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主催: 社団法人精密工学会

圧電アクチュエータとその応用デバイス（1）

テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構を利用した超高真空対応試料導入位置決め機構の検討

*袴田恵世, 新野俊樹

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キーワード: 圧電素子, 精密位置決め, 非磁性

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抄録

圧電素子の急速変形と摩擦を利用することで，高分解能と長ストロークを同時に実現したスムーズインパクト駆動機構が知られている．これを利用して，電子顕微鏡等に用いられる試料導入およびステージ機構を小型化することを提案する．テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構の駆動試験結果の報告と，先端における振動について考察を行う．

責任著者(Corresponding author)

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