精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: B77
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三次元造形(1)
液晶動画像を用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第二報)
CADに基づく微細形状造形
*西野 秀昭三好 隆志高谷 裕浩高橋 哲
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抄録
 本研究は,液晶パネルをマスクとして利用した面露光により,非積層で高速かつ高精度に3次元マイクロ構造物を造形する,新たな光造形法の確立を目的としている.今回,CADに基づいてマスク画像を作成し,造形を行うシステムを構築した.そのシステムを用いて,世界最小級モジュール0.020,最大歯数100の軸付二段歯車の一体造形を試みた.造形条件を最適化することで,精度よく上記の微細形状を造形できた.この結果から本手法の実用的な有効性が示された.
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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