EPD砥石によるガラスの鏡面研削

抄録

ガラスの高度な鏡面加工には、遊離砥粒による研磨加工が多く採用されてきたが、平坦度·環境負荷の観点から固定砥粒による研削加工が要請されている。そこで本研究では、以上の問題に応えるガラスの鏡面研削加工用砥石として、シリコン、水晶などに対して効果のあったEPD（Electrophoretic Deposition）砥石のガラスに対する適用を試みた。