EPDペレットによる定圧加工の可能性について

抄録

これまでのEPD研削では強制切り込みによる加工であった。そこで今回、ラップ盤を改造した定圧加工装置を製作し、EPD研削における定圧切り込みの可能性を検討したところ、シリコンウエハの加工では、鏡面が得られることがわかった。今回、定圧切り込みの可能性を評価するために表面粗さ、加工能率や研削屑の観察結果などを調査した。