研磨パッドドレッシング及びPOST-CMPクリーニングのための超高圧マイクロジェット精密洗浄の開発

抄録

研磨パッドドレッシング及びPOST－CMPクリーニングに向けて開発した超高圧マイクロジェット精密洗浄システムをより効率よく利用するために、高圧洗浄水の噴射時に発生する微粒子の挙動を観察し、それら微粒子群による物理量を算出した。これらより、洗浄効果の高い粒子、また、そのような微粒子を発生させる為の超高圧マイクロジェット洗浄の設計法について、検討を行った。