精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: G04
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主催: 社団法人精密工学会

ELID研削（1）
ZERODURミラーの超精密ELID研削
*鈴木 亨, 大森 整, 上原 嘉宏, 林 偉民, 清水 知之
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キーワード: ELID研削, 非球面, ゼロデューワ, 機上計測
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抄録
　ELID研削システム搭載の4軸超精密非球面·自由曲面加工機を使用し、球面形状のELID研削加工を行った．本報告では、4軸超精密非球面·自由曲面加工機の特徴及び仕様について紹介し，ガラス硝材の中でも熱膨張率が非常に小さいゼロデューワ硝材を対象にELID研削加工を行ったので報告する．
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© 2003 公益社団法人　精密工学会
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