ソリッドイマージョンミラーの超精密ELID研削

（第４報）砥石断面を有効利用した超精密ELID研削の試み

抄録

　ELID研削を搭載した４軸油静圧超精密加工機を用いてソリッドイマージョンミラー（SIM）の超精密加工を行った。加工後に機上に取り付けた形状測定プローブを用いて形状測定を行い、形状誤差データをもとに補正加工を行い、形状精度向上を図った。また，スポット径などの評価が進んでいるので報告する．