テーブルトップ超精密4軸加工機の開発

第5報：単結晶ダイヤモンドツールを使用した微細形状加工の試み　その3

抄録

ガラスモールドの高性能化のための卓上型4軸加工機と単結晶ダイヤモンドツールを使用した二次加工システムの開発を目的とし，光学素子に使用される材料の加工を試みたので報告する．