超純水のみによる電気化学的加工法の研究

抄録

超純水のみによる電気化学的加工法は、水分子を触媒反応によって分解し、生成したOHと加工物表面との化学反応により加工を行う。これまでに、各種材料の加工が可能であることを報告してきた。今回、Si表面反応素過程の第一原理分子動力学シミュレーションとSiの加工実験、および加工面の性状評価、さらには、加工面の平坦度の向上を目指した新しい電極の開発を試みたので、その結果について報告する。