超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究（第1報） 卓上研磨装置の試作と基本的研磨特性の評価

鈴木 浩文; 宮原 充; 古瀬 晶子; 澁谷 秀雄; 堀内 宰

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.392.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: H13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.392.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（1）

超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究（第1報）

卓上研磨装置の試作と基本的研磨特性の評価

*鈴木浩文, 宮原充, 古瀬晶子, 澁谷秀雄, 堀内宰

著者情報

キーワード: マイクロ非球面研磨, 遊離砥粒研磨, 超音波振動, 光学部品, 仕上げ研磨

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

　微小なポリッシャに超音波を付加し，遊離砥粒により研削加工面を仕上げ加工する新しい方法を提案し，卓上型の4軸制御のマイクロ研磨装置を開発した．外径1mm以下のポリシャに遊離砥粒を掛けながら超音波を付加することにより微小な加工痕が得られることを確認し，研磨時間に対する研磨加工量と表面粗さの変化について実験的に検討した．更に，これを滞留時間制御することによりマイクロ非球面の形状創成が可能であることが明らかになった．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）