プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工

抄録

圧電結晶である水晶は電気的に極めて高い周波数安定性を持つことから、周波数制御の水晶振動子や発振器、周波数選択フィルターとして、通信機器、コンピュータ等のデジタル機器には欠かすことのできない電子デバイスである。特に近年は、マルチメディア、デジタル化の急激な進展に伴って、情報の処理·伝達能力の高性能化が求められており、水晶振動子は厚みを薄くしてその固有振動周波数を上昇させることが必要となっている。そこで、プラズマCVMによる水晶振動子の薄加工技術について検討する。