姿勢制御機構による大型光学素子の三次元表面創成

飯塚 博康; 江田 弘; 周 立波

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.394.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: H15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.394.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（1）

姿勢制御機構による大型光学素子の三次元表面創成

*飯塚博康, 江田弘, 周立波

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キーワード: 光学素子, 非球面レンズ, 姿勢制御

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抄録

主に三次元表面創成されている方法は運動転写と形状転写がある.それぞれの問題点に着目すると運動転写では運動精度が形状精度に依存する.形状転写では工具自体の形状の高精度化が難しい.また加工するポイントにより切り込み量が異なり工具の摩耗も不均一となり設定形状と実形状の相異が大きい．これらの問題を解消するため姿勢制御機構により形状精度を向上させた．この機構により三次元表面創成の実験結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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