単結晶ゲルマニウムの超精密切削による赤外線光学素子の加工 （第1報）脆性·延性遷移の臨界切取り厚さの検討

閻 紀旺; 前川 高貴; 田牧 純一; 久保 明彦

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.395.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: H16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.395.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（1）

単結晶ゲルマニウムの超精密切削による赤外線光学素子の加工

（第1報）脆性·延性遷移の臨界切取り厚さの検討

閻紀旺, *前川高貴, 田牧純一, 久保明彦

著者情報

キーワード: 超精密切削, 単結晶, ゲルマニウム, 脆性材料, 光学表面, 赤外線

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

単結晶ゲルマニウムは、半導体基板材料であるとともに、優れている赤外線光学材料でもある。本研究では，超精密切削による単結晶ゲルマニウム製赤外線非球面レンズおよびフレネルレンズの加工を目的としている。本報では、切削面性状における被削材の結晶方位の影響を調べ，均一な延性モード表面を得る臨界加工条件を検討する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）