軸対称非球面研削における研削面トポグラフィーに関する研究

吉原 信人; 厨川 常元; 庄司 克雄

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.393.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: H14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.393.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（1）

軸対称非球面研削における研削面トポグラフィーに関する研究

*吉原信人, 厨川常元, 庄司克雄

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キーワード: 軸対称非球面, 研削模様, ナノトポグラフィー, うねり

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抄録

光技術の発展に伴い，非球面レンズの高精度化が求められている．現在，工作機械の高精度化，補正研削技術の進展によって，非球面レンズの高精度化が図られている．その結果形状精度が100nm以下の非球面を製造することが可能となった．しかし研削面上の非軸対称でかつ再現性の無いうねりのパターンが，更なる高精度化の妨げとなっている．この研削面上に発生するうねりの発生原因，および研削条件とうねりの関係について検討した．

責任著者(Corresponding author)

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