超精密形状計測装置の開発

測定原理

抄録

放射光用集光ミラーの中で、特に超精密形状計測が困難である被球面、非軸対称形状ミラーをナノメータで測定する測定原理について報告する。測定原理は、ミラー表面の任意の点における法線ベクトルを超精密に測定し、スロープエラーと高さ方向の誤差を計算により求める。法線ベクトルの測定は、光を利用しミラーへの入反射同一光路になるように4軸のゴニオメータと3軸の移動機構を用いる。本報告では測定原理、測定限界について述べる。