小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測法に関する研究（第1報）

三次元切れ刃プロファイル測定装置の試作

抄録

本研究では、高精度が要求される小径工具の切れ刃プロファイルをサブマイクロメートルの精度でオンマシン計測に適用可能な切れ刃評価技術の開発を目的としている。光回折ゲージ法を提案し、Fraunhofer回折理論に基づく解析および基礎実験を行い、実際の小径工具で約15 nmの分解能で切れ刃プロファイルの計測が可能であることがわかった。そして、三次元切れ刃プロファイル測定装置を試作し、小径工具の測定を試みた。