空気軸受の鏡面化の研究

抄録

空気静圧軸受は、非常に高精度な動作を必要とする回転テーブルや、直線スライドに使用されている。しかし、超精密加工で要求される精度が高くなるのに伴い、ナノオーダでの挙動も無視できないものとなっている。本報告では、軸受面の面精度や傷が、運動の精度にどのような影響を与えるのかを実験的に調べ、ナノオーダの精度を実現するために必要な面精度を明らかにした。