大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価

荒木 武; 高 偉; 清野 慧

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.450.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: I08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.450.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密マイクロ機械加工技術（2）

大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価

*荒木武, 高偉, 清野慧

著者情報

キーワード: サーフェスエンコーダ, 角度格子, ダイヤモンド旋削, 高速工具サーボ, 形状評価, マイクロストラクチャ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

本研究では，高速工具サーボを用いたダイヤモンド旋削方式によって，計測基準としてのマイクロストラクチャを高精度かつ大面積に加工することを目的としている．本論文では，評価技術を援用することで工具心出し誤差·工具コーナー半径による誤差·形状データの離散化による誤差を補正し，また工作機械の運動誤差を計測·補正することによって，マイクロストラクチャ形状の高精度化を行った．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）