精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: I08
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精密マイクロ機械加工技術(2)
大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価
*荒木 武高 偉清野 慧
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抄録
本研究では,高速工具サーボを用いたダイヤモンド旋削方式によって,計測基準としてのマイクロストラクチャを高精度かつ大面積に加工することを目的としている.本論文では,評価技術を援用することで工具心出し誤差·工具コーナー半径による誤差·形状データの離散化による誤差を補正し,また工作機械の運動誤差を計測·補正することによって,マイクロストラクチャ形状の高精度化を行った.
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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